[发明专利]一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质有效

专利信息
申请号: 201810113642.0 申请日: 2018-02-05
公开(公告)号: CN108385068B 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 杨鹏;周伟杰 申请(专利权)人: 信利光电股份有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/54
代理公司: 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 代理人: 邓义华;陈卫
地址: 516600 广东省汕尾市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种曲面盖板的镀膜装置、镀膜方法和可读存储介质。该镀膜装置包括:溅射机构,用于向预定方向以与预定方向上的镀膜区域相对应的溅射速率喷射镀膜材料;移动机构,用于带动所述曲面盖板移动,将所述曲面盖板上不同的镀膜区域依次移动至预定方向上。该镀膜装置能够解决曲面盖板的镀膜不均匀问题,提高曲面显示屏的画面质量。
搜索关键词: 曲面盖板 镀膜装置 预定方向 镀膜 可读存储介质 镀膜区域 曲面显示屏 镀膜材料 依次移动 移动机构 不均匀 溅射 喷射 移动
【主权项】:
1.一种曲面盖板的镀膜装置,其特征在于,包括:/n溅射机构,用于向预定方向以与预定方向上的镀膜区域相对应的溅射速率喷射镀膜材料;/n移动机构,用于带动所述曲面盖板移动,将所述曲面盖板上不同的镀膜区域依次移动至预定方向上;/n计算机构,用于电连接并控制所述溅射机构和移动机构,依据预设的所述曲面盖板上的不同镀膜区域及其相对应的溅射速率,通过控制所述移动机构将所述曲面盖板上的不同镀膜区域依次移动至预定方向上;以及,通过控制所述溅射机构将所述镀膜材料依次以与预定方向上的镀膜区域相对应的溅射速率喷射出;/n其中,所述曲面盖板上需要镀膜的整个曲面表面分成多个镀膜区域,一个镀膜区域对应使用一个溅射速率来进行镀膜。/n
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