[发明专利]一种多步反复合成制备稀土掺杂钆镓铝单晶原料的方法有效
申请号: | 201810107491.8 | 申请日: | 2018-02-02 |
公开(公告)号: | CN108360062B | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 李辉;王海丽;陈建荣;黄存新;周振翔 | 申请(专利权)人: | 中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/28 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 赵奕 |
地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种多步反复合成制备稀土掺杂钆镓铝单晶原料的方法,包括以下操作:1)称取用于掺杂的稀土和制备钆镓铝单晶的原料,放入坩埚中预烧;2)将预烧后的粉料混合均匀;3)将混合均匀的粉料放入坩埚,在温度1300~1600℃下烧结;4)使用陶瓷研钵研磨烧结过的混料,研磨后过筛,之后再混合5~10小时;5)重复2~5遍;6)将粉料放入等静压模具中,压制成型。本发明提出的方法,通过反复研磨、烧结、混合的方法制备混料,能够更加充分的得到成分一致的多晶料,为后续生长优质单晶提供了重要的保障。使用等静压压制成型使得压块各处的一致性较好,在单晶合成时能够快速熔化,减少原料挥发及分解。 | ||
搜索关键词: | 一种 反复 合成 制备 稀土 掺杂 钆镓铝单晶 原料 方法 | ||
【主权项】:
1.一种多步反复合成制备稀土掺杂钆镓铝单晶原料的方法,其特征在于,包括以下操作:1)称取用于掺杂的稀土和制备钆镓铝单晶的原料,分别放入坩埚中,在温度1000~1200℃下预烧2~3小时;2)按照配比精确称量预烧的粉料,将称量的粉料混合5~10小时;3)将混合均匀的粉料放入坩埚,在温度1300~1600℃下烧结5~8小时;4)使用陶瓷研钵研磨烧结过的混料,研磨后将粉料过筛,之后再混合5~10小时;5)、重复步骤3)和4)2~5遍;6)将粉料放入等静压模具中,压制成型;等静压压力120~180MPa。
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