[发明专利]基于微型悬臂梁的高灵敏度光纤超声传感器在审
| 申请号: | 201810097023.7 | 申请日: | 2018-01-31 |
| 公开(公告)号: | CN108375412A | 公开(公告)日: | 2018-08-07 |
| 发明(设计)人: | 荣强周;苏丹;乔学光;陈凤仪 | 申请(专利权)人: | 西北大学 |
| 主分类号: | G01H9/00 | 分类号: | G01H9/00 |
| 代理公司: | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人: | 申忠才 |
| 地址: | 710069 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 一种基于微型悬臂梁的高灵敏度光纤超声传感器,在光纤陶瓷插芯的中心位置加工有孔径为125~150μm的中心孔,光纤陶瓷插芯的中心孔的右端设置有微型悬臂梁3,在光纤陶瓷插芯的中心孔内设置有单模光纤,单模光纤的右端面是与单模光纤2轴线垂直的平面,单模光纤的右端面是与微型悬臂梁之间保持有距离,微型悬臂梁与单模光纤端面构成光纤法布里珀罗干涉仪,与传统的法布里珀罗干涉仪相比,具有结构简单、灵敏度高、响应频带宽、稳定性好等优点,能满足地震物理模型高分辨成像的要求,可用于>100kHz超声波的高灵敏感测。 | ||
| 搜索关键词: | 微型悬臂梁 单模光纤 光纤陶瓷插芯 中心孔 光纤超声传感器 高灵敏度 干涉仪 右端面 单模光纤端面 地震物理模型 法布里珀罗 高分辨成像 响应频带 轴线垂直 超声波 传统的 光纤法 灵敏度 感测 可用 灵敏 加工 | ||
【主权项】:
1.一种基于微型悬臂梁的高灵敏度光纤超声传感器,其特征在于:在光纤陶瓷插芯(1)的中心位置加工有孔径为125~150μm的中心孔,光纤陶瓷插芯(1)的中心孔的右端设置有微型悬臂梁(3),在光纤陶瓷插芯(1)的中心孔内设置有单模光纤(2),单模光纤(2)的右端面是与单模光纤(2)轴线垂直的平面,单模光纤(2)的右端面是与微型悬臂梁(3)之间保持有距离,微型悬臂梁(3)与单模光纤(2)端面构成法布里‑珀罗干涉仪,腔体为开腔结构。
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