[发明专利]一种基于磁控溅射原理的金属锂复合负极制备装置在审
| 申请号： | 201810095671.9 | 申请日： | 2018-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN108390017A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 向勇;税烺;闫宗楷 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01M4/1395 | 分类号： | H01M4/1395;H01M4/1393;H01M4/04 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 甘茂 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于锂电池制备技术领域，具体提供一种基于磁控溅射原理的金属锂复合负极制备装置，包括装/取片腔和3个结构相同的独立溅射腔；每个独立溅射腔能够独立完成磁控溅射镀膜；装置还包括由随转架及与之匹配连接的移动滑轨构成的基片移动平台，所述随转架位于装/取片腔内中心位置，基片通过真空锁放入装/取片腔内、通过移动滑轨移动至随转架、在随转架上回转换位并通过移动滑轨移动至任一独立溅射腔内。本发明复合负极材料中各个组分分别在独立溅射腔内完成，能够实现控制气氛、溅射率等参数的精准控制，即实现复合负极材料中各个组分成分比例的精准控制；制备得锂‑硅‑碳复合负极材料能够获得均匀的材料成分和强度，有利于实现工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射腔 转架 移动滑轨 取片 复合负极材料 磁控溅射 复合负极 精准控制 制备装置 金属锂 腔内 碳复合负极材料 磁控溅射镀膜 制备技术领域 基片移动 控制气氛 匹配连接 溅射率 上回转 真空锁 锂电池 移动 放入 制备 换位 | ||
【主权项】：
1.一种基于磁控溅射原理的金属锂复合负极制备装置，其特征在于，所述装置包括装/取片腔和3个结构相同的独立溅射腔；其中，所述3个结构相同的独立溅射腔呈“品”字型排布于所述装/取片腔的三个侧面，由3个气动真空摆动阀连接、将装置分隔为4个独立真空区域；每个独立溅射腔能够独立完成磁控溅射镀膜；所述装/取片腔另一侧面设置有真空锁、用于装/取基片；所述装置还包括由随转架及与之匹配连接的移动滑轨构成的基片移动平台，所述随转架位于装/取片腔内中心位置，基片通过真空锁放入装/取片腔内、通过移动滑轨移动至随转架、在随转架上回转换位并通过移动滑轨移动至任一独立溅射腔内。
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