[发明专利]一种大口径宽光谱F-P可调谐滤波器的高精密装配系统

摘要

本发明公开了一种大口径宽光谱F‑P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10‑1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F‑P可调谐滤波器的F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。

主权项

1.一种大口径宽光谱F‑P可调谐滤波器的高精密装配系统，包括定镜安装模块(1)；动镜安装模块(2)；三维微位移平台(3)；压电惯性驱动器(6)；二维电动位移台(7)；其特征在于：所述的定镜安装模块(1)的光学调整架在俯仰和偏摆方向提供±4°的角度调整，在垂直于镜架光轴的平面内360°可旋转，并具有2°的旋转分度；所述的动镜安装模块(2)的光学调整架具备3个1/4英寸‑80调节螺丝，俯仰和偏摆方向提供±4°的角度调整，能够与压电惯性驱动器(6)兼容；所述的三维微位移平台(3)含有三组位移调节器，每组位移调节器均由粗调节器(4)和微调节器(5)组成，粗调节器(4)具备mm量级的行程，每转的粗调范围为500μm，微调节器(5)具备100μm量级的行程，每转的微调范围是50μm；所述的压电惯性驱动器(6)带有1/4"‑80安装螺纹，与动镜安装模块(2)中的光学调整架兼容，具备10mm量级行程，在闭环控制下步长达到20nm；所述的二维电动位移台(7)在竖直方向和水平方向的行程均不小于1英寸，位移分辨率优于1μm，重复定位精度优于5μm；所述的压电惯性驱动器(6)安装在动镜安装模块(2)中的光学调整架的3个1/4英寸‑80调节螺丝的安装孔处；所述的定镜安装模块(1)安装在二维电动位移台(7)上，三维微位移平台(3)安装在二维电动位移台(7)上，动镜安装模块(2)安装在三维微位移平台(3)上；所述的定镜安装模块(1)与动镜安装模块(2)的光轴处于同一高度，且彼此相对平行放置。