[发明专利]喷嘴清洗装置和晶圆清洗设备在审
| 申请号： | 201810081980.0 | 申请日： | 2018-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN108453084A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王飞亚;张文福;高英哲 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及喷头清洗装置和晶圆清洗设备，其中喷嘴清洗装置包括：清洗槽；位于所述清洗槽壁上的至少一个第一输入口，所述第一输入口与第一管道连通，用于连接至清洗溶液源；位于清洗槽底部的至少一个输出口，所述输出口与第三管道连通，用于排出所述清洗槽内废液。所述喷头清洗装置能够对喷嘴表面进行清洗，去除化学结晶等污染，提高后续对晶圆进行清洗的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗槽 晶圆清洗设备 喷头清洗装置 喷嘴清洗装置 输出口 输入口 清洗 第一管道 管道连通 化学结晶 喷嘴表面 清洗槽壁 清洗溶液 废液 晶圆 排出 去除 连通 污染 | ||
【主权项】：
1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽；位于所述清洗槽壁上的至少一个第一输入口，所述第一输入口与第一管道连通，用于连接至清洗溶液源；位于清洗槽底部的至少一个输出口，所述输出口与第三管道连通，用于排出所述清洗槽内废液。
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