[发明专利]用于动态随机存取存储器的电阻器有效
| 申请号： | 201810076676.7 | 申请日： | 2018-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN110085574B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 永井享浩 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于动态随机存取存储器的电阻器，包含一基底，其上界定有存储单元区与周边区、以及一电阻器位于该基底的浅沟槽隔离结构上，该电阻器具有一绕线部位以及位于该绕线部位两端的端点部位，该端点部位分别经由接触结构与一上层金属层电连接，其中该端点部位由下而上包含一多晶硅层以及多个金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 动态 随机存取存储器 电阻器 | ||
【主权项】：
1.一种用于动态随机存取存储器的电阻器，其特征在于，包含：基底，该基底上界定有存储单元区与周边区；以及电阻器，位于该基底的浅沟槽隔离结构上，该电阻器具有绕线部位以及位于该绕线部位两端的端点部位，该端点部位分别经由接触结构与一金属层电连接，其中该端点部位由下而上包含多晶硅层以及多个金属层。
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