[发明专利]基板导向机构、基板传送装置及湿式设备在审
| 申请号： | 201810074472.X | 申请日： | 2018-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108227253A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 熊坤 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板导向机构、基板传送装置及湿式设备。本发明的基板导向机构包括相对设置于传送中的基板两侧的调节边导轮和固定边导轮，其中，所述调节边导轮和固定边导轮分别包括可移动位置的第一滚轮和具有固定位置的第二滚轮，所述调节边导轮作为调节件用于纠正基板位置偏移，且不会导致基板破片，所述固定边导轮作为固定件用于控制基板移动时的位置偏移，从而能够避免现有湿式设备因边导轮位置设置差异而导致基板破片、设备宕机等异常发生。 | ||
| 搜索关键词： | 导轮 基板 导向机构 湿式设备 固定边 基板传送装置 滚轮 破片 可移动位置 导轮位置 基板两侧 基板位置 控制基板 设备宕机 位置偏移 相对设置 异常发生 固定件 偏移 传送 移动 纠正 | ||
【主权项】：
1.一种基板导向机构，其特征在于，包括多组相对设置的调节边导轮(11)和固定边导轮(12)，所述调节边导轮(11)和固定边导轮(12)设置于传送中的基板(90)的两侧，用于对基板(90)的传送方向进行限位纠偏；其中，所述调节边导轮(11)包括可移动位置的第一滚轮(111)、带动所述第一滚轮(111)在基板(90)一侧进行移动的可伸缩的弹性件(112)；所述固定边导轮(12)包括具有固定位置的与所述第一滚轮(111)对应设置的第二滚轮(121)。
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