[发明专利]具有石墨烯气泡的石墨烯结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810062550.4 | 申请日： | 2018-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN110065271B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 狄增峰;贾鹏飞;薛忠营;孙银波;马骏;张苗;王曦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;B32B9/04;B32B3/30;B32B3/08 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种具有石墨烯气泡的石墨烯结构及其制备方法，制备方法包括：提供一衬底；对衬底进行处理，以于衬底的表面形成一离子膜层；提供一石墨烯层，并转移石墨烯层至离子膜层的表面；将一探针置于石墨烯层上，并给探针施加一预设电压，以激发探针对应位置的部分离子膜层转换成对应的气体，该气体使得其对应位置的石墨烯层凸起以形成包覆该气体的石墨烯气泡，通过上述方案，本发明可以在任意衬底上制备得到石墨烯气泡，不受衬底限制；本发明的具有石墨烯气泡的石墨烯结构以及该结构的制备方法，可以精确地控制石墨烯气泡的形成位置，并实现了石墨烯气泡的大小以及形状等的高度可控，本发明的制备方法操作简单，具有很强的可操作性和实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 石墨 气泡 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有石墨烯气泡的石墨烯结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)提供一衬底；2)对所述衬底进行处理，以于所述衬底的上表面形成一离子膜层；3)提供一石墨烯层，并转移所述石墨烯层至所述离子膜层的上表面；以及4)将一探针置于所述石墨烯层上，并给所述探针施加一预设电压，以激发所述探针对应位置的部分所述离子膜层转换成对应的气体，所述气体使得其对应位置的所述石墨烯层凸起以形成包覆所述气体的石墨烯气泡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810062550.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
