[发明专利]一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备

摘要

本发明公开了一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，包括按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔；装载腔、工艺腔及卸载腔分别通过泵管路对应设置有装载泵、工艺泵及卸载泵；装载腔和卸载腔分别设置载板顶升机构，装载腔的载板顶升机构用于两块未处理载板的同时进出，卸载腔的载板顶升机构用于两块处理后载板的同时进出，载板在装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔之间由链式辊轮输送。由于采用了载板顶升机构，使得装载腔和卸载腔一次可以进出两块载板，因此大大提高设备的产能并由于减少了回填气体的频率而大大降低了能耗。

主权项

1.一种高产能链式传输真空刻蚀和镀膜设备，其特征在于，包括：按工艺顺序依次设置的装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔，所述装载腔与缓冲腔一之间设置有可启闭的真空隔板一，所述缓冲腔一、工艺腔及缓冲腔二为连通的腔室，所述缓冲腔二与卸载腔之间设置有可启闭的真空隔板二；所述装载腔通过泵管路对应设置有装载泵，所述工艺腔通过泵管路对应设置有工艺泵，所述卸载腔通过泵管路对应设置有卸载泵；所述装载腔和卸载腔分别对应设置有载板顶升机构，所述装载腔的载板顶升机构包括升降台以用于将进入所述装载腔的其中一块载板顶升以实现所述装载腔内同时进入两块载板，所述卸载腔的载板顶升机构包括升降台以用于将进入所述卸载腔的其中一块载板顶升以实现所述卸载腔内同时进入两块载板，所述载板在所述装载腔、缓冲腔一、工艺腔、缓冲腔二及卸载腔之间由链式辊轮输送。