[发明专利]一种采用组合发射区的异质结双极晶体管及其制造方法有效
申请号: | 201810053672.7 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN108258032B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 王冠宇;苗乃丹;于明道;宋琦;周春宇;王巍 | 申请(专利权)人: | 重庆邮电大学 |
主分类号: | H01L29/08 | 分类号: | H01L29/08;H01L29/737;H01L21/331 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 伍伦辰 |
地址: | 400065 重*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: |
本申请公开了一种采用组合发射区的异质结双极晶体管,包括单晶硅衬底层及设置在单晶硅衬底层上的集电区及基区,还包括设置在单晶硅衬底层上的组合发射区,组合发射区包括由下至上依次设置的重掺杂应变Si |
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搜索关键词: | 一种 采用 组合 发射 异质结 双极晶体管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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