[发明专利]一种通过金纳米颗粒调控二氧化钒透射光谱的方法在审
| 申请号： | 201810050333.3 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108385064A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 胡明;周立伟;梁继然 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 琪琛 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种通过金纳米颗粒调控二氧化钒透射光谱的方法，该种复合薄膜主要是由VO2/Au/VO2三明治结构组成，首先是通过磁控溅射的方法在蓝宝石沉底上沉积一层金属钒薄膜，然后利用小型溅射仪沉积金纳米颗粒，随后再次沉积一层金属钒薄膜，最后将其放入快速热退火设备中进行退火，形成VO2/Au/VO2三明治结构，与平面薄膜相比，该种薄膜可有效调节二氧化钒薄膜透射光谱，进而达到改善二氧化钒自身颜色缺陷的目的，使其在智能窗领域的应用更加广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 金纳米颗粒 二氧化钒 透射光谱 沉积 金属钒薄膜 三明治结构 快速热退火设备 退火 二氧化钒薄膜 蓝宝石 磁控溅射 复合薄膜 平面薄膜 颜色缺陷 有效调节 溅射仪 智能窗 调控 放入 薄膜 应用 | ||
【主权项】：
1.一种通过金纳米颗粒调控二氧化钒透射光谱的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)蓝宝石沉底的清洗：将c‑0001晶向的蓝宝石衬底放入无水乙醇中超声清洗，然后去离子水洗净备用；(2)金属钒薄膜的制备：将步骤(1)中清洗干净的蓝宝石衬底放入对靶超高真空磁控溅射设备中进行金属钒薄膜的制备；(3)金纳米颗粒的制备：将步骤(2)中的金属钒薄膜放入小型离子溅射仪中进行金纳米颗粒的制备，金靶材质量纯度为99.99％，溅射压强为5‑6Pa，溅射功率为1‑3W，溅射时间为10‑30s，溅射气体为空气；(4)金属钒薄膜的制备：将步骤(3)中VO2/Au放入対靶超高真空磁控溅射设备中，制备金属钒薄膜；(5)快速热退火形成VO2/Au/VO2三明治结构复合薄膜：将步骤(4)中V/Au/V三明治结构放入快速退火设备中在氧气氛围下退火。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津大学，未经天津大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810050333.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种流沙纹理冰钻黑的镀膜方法
- 下一篇：一种带有蒸发源的设备及安全控制方法
- 同类专利
- 专利分类
