[发明专利]一种基于原子力显微镜的表面阻抗成像测试方法及装置在审
| 申请号： | 201810049782.6 | 申请日： | 2018-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN108333391A | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 和庆钢;王晓江;雷涛;杨厚华;练健;赵晶 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01Q60/32 | 分类号： | G01Q60/32;G01R27/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于原子力显微镜的表面阻抗成像测试方法和装置，该方法通过将原子力显微镜和阻抗测试仪联合使用，使得原子力显微镜在测量形貌的同时，也可以得到表面微观结构上的交流阻抗信息。所述的测试装置基于法拉第屏蔽箱、原子力显微镜、阻抗测试仪，将待测样品作为工作电极、原子力显微镜的导电探针作为对电极实现；本发明的方法及装置可以适用于各种材料，如Nafion膜，采用本发明可以得到常规方法无法获取的其微观界面上纯的离子导电信号，这有助于对Nafion膜的微观性质如不同位置的离子电导率的深入理解，从而对于Nafion膜的性能做出评价和改进建议。 | ||
| 搜索关键词： | 原子力显微镜 阻抗测试仪 表面阻抗 成像测试 微观 表面微观结构 形貌 法拉第屏蔽 方法和装置 离子电导率 测试装置 待测样品 导电探针 工作电极 交流阻抗 离子导电 对电极 测量 改进 | ||
【主权项】：
1.一种基于原子力显微镜的表面阻抗成像测试方法，其特征在于，该方法通过原子力显微镜和阻抗测试仪联合用于测量表面微观结构的交流阻抗并成像。
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