[发明专利]一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统在审
申请号: | 201810042661.9 | 申请日: | 2018-01-17 |
公开(公告)号: | CN108445602A | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 姚红兵;李航宇;范宁;赵健 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G02B13/00 | 分类号: | G02B13/00;G02B1/00;G01B11/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统,所述光学系统沿入射光路自前向后依次间隔设置光阑D、凹凸透镜A1、凹凸透镜A2、双凸透镜A3、凹凸透镜A4;其中光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上;所述凹凸透镜A1的入射面为凹面,出射面为凸面;所述凹凸透镜A2的入射面为凹面,出射面为凸面;所述凹凸透镜A3的入射面为凸面,出射面为凹面;所述光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上;所述共焦光学系统的物面空间NA等于0.17;所述共焦光学系统的波长为400nm、600nm、800nm、1000nm;本发明共焦光学系统结构简单,并使得镀膜透镜中心厚度的测量范围达到11.5mm以上,大幅提高精度。 | ||
搜索关键词: | 凹凸透镜 共焦光学系统 出射面 入射面 凹面 光阑 凸面 测量镀膜 透镜中心 前表面 镀膜透镜 光学系统 间隔设置 入射光路 双凸透镜 波长 前向 物面 测量 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统,其特征在于,包括:沿入射光路自前向后依次间隔设置光阑D、凹凸透镜A1、凹凸透镜A2、双凸透镜A3、凹凸透镜A4;所述光学系统满足以下条件:所述凹凸透镜A1满足:Vd>50;所述凹凸透镜A2满足:Nd>1.75,Vd<50;所述双凸透镜A3满足:Nd>1.75,Vd<50;所述凹凸透镜A4满足:Nd>1.75,Vd<50;所述光阑D的半径等于5.17mm;其中,Nd表示透镜材料的d光折射率,Vd表示透镜材料的d光阿贝常数。
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