[发明专利]一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统在审

专利信息
申请号: 201810042661.9 申请日: 2018-01-17
公开(公告)号: CN108445602A 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 姚红兵;李航宇;范宁;赵健 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G02B1/00;G01B11/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统,所述光学系统沿入射光路自前向后依次间隔设置光阑D、凹凸透镜A1、凹凸透镜A2、双凸透镜A3、凹凸透镜A4;其中光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上;所述凹凸透镜A1的入射面为凹面,出射面为凸面;所述凹凸透镜A2的入射面为凹面,出射面为凸面;所述凹凸透镜A3的入射面为凸面,出射面为凹面;所述光阑D设置在凹凸透镜A1的前表面上;所述共焦光学系统的物面空间NA等于0.17;所述共焦光学系统的波长为400nm、600nm、800nm、1000nm;本发明共焦光学系统结构简单,并使得镀膜透镜中心厚度的测量范围达到11.5mm以上,大幅提高精度。
搜索关键词: 凹凸透镜 共焦光学系统 出射面 入射面 凹面 光阑 凸面 测量镀膜 透镜中心 前表面 镀膜透镜 光学系统 间隔设置 入射光路 双凸透镜 波长 前向 物面 测量
【主权项】:
1.一种用于测量镀膜透镜中心厚度的共焦光学系统,其特征在于,包括:沿入射光路自前向后依次间隔设置光阑D、凹凸透镜A1、凹凸透镜A2、双凸透镜A3、凹凸透镜A4;所述光学系统满足以下条件:所述凹凸透镜A1满足:Vd>50;所述凹凸透镜A2满足:Nd>1.75,Vd<50;所述双凸透镜A3满足:Nd>1.75,Vd<50;所述凹凸透镜A4满足:Nd>1.75,Vd<50;所述光阑D的半径等于5.17mm;其中,Nd表示透镜材料的d光折射率,Vd表示透镜材料的d光阿贝常数。
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