[发明专利]带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法

摘要

根据一个实施方式，带电粒子束描绘装置具备：照射部(201)，向分别形成有规定的标记的不同的多个基板，分别照射带电粒子束；以及检测器(114)，检测用带电粒子束扫描规定的标记时射出的带电粒子，并输出检测信号。本装置还具备：放大器(124)，对检测信号进行调整以及放大，并输出放大信号；以及测定部(211)，基于放大信号测定标记的位置。本装置还具备储存部(128)，储存有用于放大检测信号的放大器的增益的初始值、并且是与扫描的条件对应的多个增益的初始值，放大器根据基于扫描的条件而选择出的增益的初始值对检测信号进行放大。

主权项

1.一种带电粒子束描绘装置，具备：照射部，向分别形成有规定的标记的不同的多个基板，分别照射带电粒子束；检测器，检测用上述带电粒子束扫描上述规定的标记时射出的带电粒子，并输出检测信号；放大器，对上述检测信号进行调整以及放大，并输出放大信号；测定部，基于上述放大信号测定上述标记的位置；以及储存部，储存有与上述扫描的条件对应的多个上述增益的初始值，且该初始值是用于放大上述检测信号的上述放大器的增益的初始值，上述放大器根据基于上述扫描的条件而选择出的上述增益的初始值，对上述检测信号进行放大。