[发明专利]一种化学气相沉积炉

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体以及气氛管理单元，气氛管理单元用于向炉体内通入或抽出气体，气氛管理单元包括多个气流处理装置，气流处理装置具有第一端、第二端以及设于第一端和第二端之间的至少一多孔薄膜，第一端与外部连通，第二端处于炉体内，从而气流在进出炉体时，通过多孔薄膜，多孔薄膜将气流分散，提高了炉体内气体的均匀性，并有利于减少气流冲击。

主权项

1.一种化学气相沉积炉，包括炉体以及气氛管理单元，所述气氛管理单元用于向所述炉体内通入或抽出气体，其特征在于，所述气氛管理单元包括多个气流处理装置，所述气流处理装置具有第一端、第二端以及设于所述第一端和所述第二端之间的至少一多孔薄膜，所述第一端与外部连通，所述第二端处于所述炉体内，从而气流在进出所述炉体时，通过所述多孔薄膜，所述多孔薄膜将气流分散。