[发明专利]图案化石墨烯的制备方法在审
| 申请号： | 201810003051.8 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN107934951A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 郭康 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种图案化石墨烯的制备方法，包括步骤在石墨烯层上涂覆热塑性树脂，将所述石墨烯层和所述热塑性树脂转印至目标基底上，对所述热塑性树脂进行纳米压印形成图案化热塑性树脂层，对所述图案化热塑性树脂层和石墨烯层按照所述图案化热塑性树脂层上的图案进行刻蚀，形成图案化的石墨烯，去除剩余的热塑性树脂。根据本申请实施例提供的技术方案，通过在石墨烯层上涂覆一层热塑性树脂，在石墨烯层进行转移过程中作为支撑体，同时通过这层热塑性树脂采用纳米压印的方式对石墨烯进行图案化，对石墨烯进行图案化的工艺方法简单，并且能够实现大面积、高分辨率的石墨烯图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 化石 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种图案化石墨烯的制备方法，其特征在于，包括步骤：在石墨烯层上涂覆热塑性树脂，将所述石墨烯层和所述热塑性树脂转印至目标基底上，对所述热塑性树脂进行纳米压印形成图案化热塑性树脂层，对所述图案化热塑性树脂层和石墨烯层按照所述图案化热塑性树脂层上的图案进行刻蚀，形成图案化的石墨烯，去除剩余的热塑性树脂。
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