[发明专利]基于振幅调制的波前在线快速重建装置和重建方法有效
申请号: | 201810002937.0 | 申请日: | 2018-01-02 |
公开(公告)号: | CN108332866B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 潘兴臣;刘诚;朱健强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种基于振幅调制的波前在线快速重建装置和重建方法,装置包括:沿待测光束传播方向依次经过可变光阑、振幅型波前调制板、光斑探测器,该光斑探测器的输出端与计算机相连,所述振幅型波前调制板由二元随机调制区、全反射区、光栅定位区组成,可实现对波前的随机调制和光路参数的修正,利用单幅衍射光斑通过匹配的迭代算法就可以实现待测波前复函数的快速重建,且适用于不同波长,不需要额外标定,可用于可见光、X射线和电子束等不同光源的波前动态在线测量、光学元件离线检测和样品成像,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 基于 振幅 调制 在线 快速 重建 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于振幅调制的波前在线快速重建装置,其特征在于,包括:沿待测光传播方向依次放置的可变光阑(1)、振幅型波前调制板(2)和光斑探测器(3),该光斑探测器(3)的输出端与计算机(4)相连,所述的振幅型波前调制板(2)划分有至少一个二元振幅调制区(5)、一个反射区(6)和一个光栅定位区(7),所述的二元振幅调制区(5)位于所述的振幅型波前调制板(2)的中心位置,由透光区域和不透光区域组成,所述的反射区(6)位于所述的振幅型波前调制板(2)的边缘位置,可将待测光返回,所述的光栅定位区(7)为二元黑白光栅,且位于所述的振幅型波前调制板(2)的边缘位置,待测光经过振幅型波前调制板(2)调制后,所述的光斑探测器(3)记录其衍射光斑强度分布送所述的计算机(4),所述的计算机(4)计算恢复待测波前的复振幅分布。
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