[发明专利]用于热处理基板的设备、用于运输柔性基板的设备、以及用于热处理基板的方法在审
| 申请号： | 201780096592.3 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111315917A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·施纳彭伯格;沃尔夫冈·布什贝克;斯特凡·海因 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/54;G05D23/27;H01K1/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据第一方面，本公开内容提供了一种用于热处理基板的设备，所述设备包含至少一个加热元件和至少一个挡板，其中至少一个挡板可在基板与至少一个加热元件之间的第一位置与第二位置之间移动，并且至少一个挡板包含至少一个反射表面。根据另一方面，本公开内容提供了一种用于运输柔性基板的设备，所述设备包含根据第一方面的用于热处理基板的设备、基板运输控制器、和传感器，其中将基板运输经过用于热处理基板的设备。根据另一方面，本公开内容提供了一种用于热处理基板的方法，所述方法包含朝向基板发射辐射、和暂时反射辐射来限制对基板的加热。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 热处理 设备 运输 柔性 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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