[发明专利]多层膜用蚀刻液和蚀刻浓缩液以及蚀刻方法有效
| 申请号： | 201780094862.7 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN111094627B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 白滨祐二;着能真 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;H01L21/28;H01L21/308 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种蚀刻液，用于蚀刻膜厚较厚的铜层和基底钛层的多层膜，该蚀刻液即使在金属离子浓度达到8000ppm以上时也能够使用。该蚀刻液含有(a)过氧化氢、(b)氟离子供给源、(c)唑类、(d)过氧化氢稳定剂、(e)有机酸、(f)胺类和(g)水，所述有机酸使用甲磺酸与选自乳酸、琥珀酸、戊二酸、丙二酸中的一种有机酸，或者单独使用乳酸。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 蚀刻 浓缩 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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