[发明专利]检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法有效
| 申请号： | 201780090043.5 | 申请日： | 2017-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110573864B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 大林岳史;在家正行;道本隆裕 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N23/046 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 闫剑平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，生成检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，对位移机构进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 对象 制造 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，包括：/n射线源，其向检查对象物照射能量射线；/n检测部，其检测从所述检查对象物中通过的能量射线；/n位移机构，其使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定所述检查对象物与所述射线源的相对位置；/n内部图像生成部，其基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，生成所述检查对象物的内部图像；以及/n控制部，其基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，对所述位移机构进行控制。/n
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