[发明专利]激光清洗装置及激光清洗方法有效
申请号: | 201780089820.4 | 申请日: | 2017-12-19 |
公开(公告)号: | CN110730694B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 横村伸绪;上山幸嗣;小川道雄;佐佐木遥平;远藤亮介 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00;B08B5/00 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在激光清洗装置(100)中,具有:作业台(12),其对被清洗部件(23A)进行保持;加热装置,其对被清洗部件(23A)进行加热;送风机构(3),其向被清洗部件(23A)的表面送风出气体(22);激光照射部(1),其向被清洗部件(23A)的表面照射激光(21);以及移动机构(15),其使照射至被清洗部件(23A)的表面的激光(21)的光斑(S)相对于被清洗部件(23A)而相对移动。 | ||
搜索关键词: | 激光 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光清洗装置,其向被清洗部件的表面照射激光,/n从所述被清洗部件的表面去除附着物,/n该激光清洗装置具有:/n作业台,其对所述被清洗部件进行保持;/n加热装置,其对所述被清洗部件进行加热;/n送风机构,其向所述被清洗部件的表面送风出气体;/n激光照射部,其向所述被清洗部件的表面照射所述激光;以及/n移动机构,其使照射至所述被清洗部件的表面的所述激光的光斑相对于所述被清洗部件而相对移动。/n
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