[发明专利]等离子体产生装置在审
| 申请号： | 201780088513.4 | 申请日： | 2017-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN110419268A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 日下航 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供等离子体产生装置，具备：电力供给装置，向配置于反应室的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向上述反应室供给处理气体；及控制装置，控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，在向上述反应室供给处理气体的状态下向上述电极供给电力时，在输入了停止信号的情况下，上述控制装置以第一工作模式和第二工作模式中的任一工作模式控制上述电力供给装置和上述处理气体供给装置的工作，其中，上述第一工作模式为使向上述电极的电力供给停止并使向上述反应室的处理气体的供给停止的工作模式，上述第二工作模式为使向上述电极的电力供给停止但继续向上述反应室供给处理气体的工作模式。 | ||
| 搜索关键词： | 工作模式 反应室 处理气体 处理气体供给装置 电力供给装置 等离子体产生装置 电极供给电力 电力供给停止 控制装置 电极 工作模式控制 供给停止 停止信号 配置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生装置，其特征在于，具备：电力供给装置，向配置于反应室中的多个电极供给电力；处理气体供给装置，向所述反应室供给处理气体；及控制装置，控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作，所述控制装置以如下的方式控制所述电力供给装置和所述处理气体供给装置的工作：基于停止指示而使向所述电极的电力供给停止，但继续向所述反应室供给处理气体，并基于重新开始指示而使向所述电极的电力供给重新开始。
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