[发明专利]用于清洁材料沉积源的部件的方法、用于制造材料沉积源的方法和用于清洁材料沉积源的部件的设备在审
| 申请号： | 201780087719.5 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN110352100A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·格比利;迈克尔·雷因弗思 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B9/032;B08B9/08;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开内容提供一种用于清洁材料沉积源(400)的部件(20)的方法(100)。所述方法(100)包括：将所述部件(20)插入(110)清洁液(201)中；将超声源(220)插入(120)所述部件(20)的内部中；和操作(130)所述超声源(220)。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积源 清洁材料 超声源 内容提供 制造材料 清洁液 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁材料沉积源的部件的方法，包括：将所述部件插入清洁液中；将超声源插入所述部件的内部中；和操作所述超声源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780087719.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双流体筒组件
- 下一篇：Fe-Ni系合金薄板及其制造方法
