[发明专利]用于压力和声学感测的MEMS换能器系统有效
| 申请号： | 201780084806.5 | 申请日： | 2017-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110198913B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | A.多勒;G.哈蒂波格卢;张宇杰;B.格尔;D.C.迈塞尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | MEMS换能器系统包括MEMS换能器设备，以用于感测压力信号或声信号中的至少一个。MEMS换能器设备包括第一膜片和第二膜片。在膜片之间形成间隔物、平板电容器元件和电极元件。平板电容器元件经由隔板耦合到膜片。可选的构件可以设置在间隔物内。电极元件的远端耦合到诸如绝缘体元件之类的结构。可以在平板电容器元件内形成可选的氧化物。在膜片之间形成的压力感测电极可以耦合到绝缘体元件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压力 声学 mems 换能器 系统 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS感测换能器系统，其包括：第一膜片和与所述第一膜片间隔开的第二膜片，其限定了间隙；形成在所述间隙内的压力感测电极；以及具有高度的间隔物，所述间隔物将所述第一膜片耦合到所述第二膜片；其中所述压力感测电极位于所述第一膜片或第二膜片中的至少一个附近。
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