[发明专利]固体拍摄元件及其制造方法

摘要

提供一种减弱了混色的高精细且灵敏度良好的固体拍摄元件。固体拍摄元件具有：半导体基板(10)，其二维地配置有多个光电变换元件(11)；滤色层(30)，其与光电变换元件(11)对应地以预先设定的规则图案二维地配置有多种颜色的滤色器；以及下层平坦化层(12)，其仅配置于第1色的滤色器(14)与半导体基板(10)之间。在第1色的滤色器(14)的膜厚设为A[nm]、上述下层平坦化层(12)的膜厚设为B[nm]、除了第1色以外的颜色的滤色器(15、16)的膜厚设为C[nm]的情况下，满足下述算式。200[nm]≤A≤700[nm]，0[nm]≤B≤200[nm]，C≤A+B+200[nm]。

主权项

1.一种固体拍摄元件，其特征在于，所述固体拍摄元件具有：半导体基板，其二维地配置有多个光电变换元件；以及滤色层，其形成于上述半导体基板上，与各光电变换元件对应地以预先设定的规则图案二维地配置有多种颜色的滤色器，在从上述多种颜色选择的一种颜色设为第1色的情况下，在上述第1色的滤色器的膜厚设为A[nm]、除了上述第1色以外的颜色的滤色器的膜厚设为C[nm]的情况下，满足下述(1)式以及(2)式。200[nm]≤A≤700[nm]···(1)C≤A+200[nm]···(2)