[发明专利]微波化学处理有效
| 申请号： | 201780074839.1 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN110036457B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | M.W.斯托韦尔 | 申请（专利权）人： | 利腾股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 方法和系统包括通过波导供给脉冲微波辐射，其中所述微波辐射在沿着波导的方向上传播。波导内的压力为至少0.1个大气压。在沿着波导的长度的第一位置处提供供给气体，大部分供给气体在微波辐射传播的方向上流动。在供给气体中产生等离子体，并且在自第一位置下游的第二位置处将处理气体添加到波导当中。大部分处理气体以大于5slm的速率在微波传播的方向上流动。通过控制脉冲微波辐射的脉冲频率和脉冲微波辐射的占空比中的至少一者来控制等离子体的平均能量，以将处理气体转化成分离的组分。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 化学 处理 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：通过具有一定长度的波导供给脉冲微波辐射，所述微波辐射在沿着所述波导的方向上传播；在沿着所述波导的长度的第一位置处将供给气体提供到所述波导当中，大部分所述供给气体在所述微波辐射传播的方向上流动；在所述波导的至少一部分长度上的所述供给气体中产生等离子体；在自所述第一位置下游的第二位置处将处理气体添加到所述波导当中，大部分所述处理气体以大于5slm的流速在所述微波传播的方向上流动；且通过控制由以下组成的组中的至少一者来控制所述等离子体的平均能量，以将所述处理气体转化成分离的组分：所述脉冲微波辐射的脉冲频率，其中所述脉冲频率大于500Hz；和所述脉冲微波辐射的占空比，其中所述占空比小于90％；其中所述波导内的压力为至少0.1个大气压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于利腾股份有限公司，未经利腾股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780074839.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
