[发明专利]光检测器有效
| 申请号： | 201780073839.X | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110023725B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 山崎理弘;柴山胜己;北浦隆介 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;H01L27/144;H01L31/0248 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光检测器包括：基板和膜体，该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上，膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接，第1配线层的线侧的第1边缘部和第2配线层的线侧的第2边缘部分别连续地延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种光检测器，其特征在于，包括：基板；和膜体，其以与所述基板的表面之间形成空隙的方式被支承于所述基板的所述表面上，所述膜体包括：隔着沿包括曲线部的线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层；和具有依赖于温度的电阻的电阻层，所述电阻层分别与所述第1配线层和所述第2配线层电连接，所述第1配线层的所述线侧的第1边缘部和所述第2配线层的所述线侧的第2边缘部分别连续地延伸。
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