[发明专利]光检测器有效

专利信息
申请号: 201780073822.4 申请日: 2017-11-30
公开(公告)号: CN110023724B 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 山崎理弘;柴山胜己;北浦隆介 申请(专利权)人: 浜松光子学株式会社
主分类号: G01J1/02 分类号: G01J1/02;H01L27/144;H01L27/146;H01L31/0248
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 杨琦
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明的光检测器包括基板和膜体,该膜体以与基板的表面之间形成空隙的方式被支承于基板的表面上,膜体包括:隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层;具有依赖于温度的电阻的电阻层,电阻层分别与第1配线层和第2配线层电连接;与基板的表面相对的光吸收层;和配置于第1配线层和第2配线层各自与光吸收层之间的隔离层,光吸收层包括:第1区域,其在从基板的厚度方向观察时,在第1配线层的与第2配线层相反的一侧扩展;和第2区域,其在从基板的厚度方向观察时,在第2配线层的与第1配线层相反的一侧扩展。
搜索关键词: 检测器
【主权项】:
1.一种光检测器,其特征在于,包括:基板;和膜体,其以与所述基板的表面之间形成空隙的方式被支承于所述基板的所述表面上,所述膜体包括:隔着沿着线延伸的间隙彼此相对的第1配线层和第2配线层;具有依赖于温度的电阻的电阻层,所述电阻层分别与所述第1配线层和所述第2配线层电连接;与所述基板的表面相对的光吸收层;和配置于所述第1配线层和所述第2配线层各自与所述光吸收层之间的隔离层,所述光吸收层包括:第1区域,其在从所述基板的厚度方向观察时,在所述第1配线层的与所述第2配线层相反的一侧扩展;和第2区域,其在从所述基板的厚度方向观察时,在所述第2配线层的与所述第1配线层相反的一侧扩展。
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