[发明专利]集尘装置以及薄片制造装置有效
| 申请号: | 201780072889.6 | 申请日: | 2017-11-21 |
| 公开(公告)号: | CN110022961B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
| 发明(设计)人: | 佐竹晶宙 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | B01D46/24 | 分类号: | B01D46/24;D21F9/00 |
| 代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 苏萌萌;权太白 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种集尘装置以及薄片制造装置,所述集尘装置能够跨及筒状的过滤器的整体而大致一样地进行反洗。集尘装置具备:筒状的过滤器;反洗辅助部件(302),其被配置在过滤器的端部处,并且至少一部分被配置在过滤器的筒内;气流产生部,其产生穿过反洗辅助部件(302)而向过滤器的筒内流入的反洗气流,反洗辅助部件(302)具备整流部(324),所述整流部(324)在过滤器的中心轴的轴向上螺旋状地延伸。 | ||
| 搜索关键词: | 集尘 装置 以及 薄片 制造 | ||
【主权项】:
1.一种集尘装置,其具备:筒状的过滤器;反洗辅助部件,其被配置在所述过滤器的端部处,并且至少一部分被配置在所述过滤器的筒内;气流产生部,其产生穿过所述反洗辅助部件而向所述过滤器的所述筒内流入的反洗气流,所述反洗辅助部件具备整流部,所述整流部在所述过滤器的中心轴的轴向上螺旋状地延伸。
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