[发明专利]具有近零冲击着陆的MEMS RF开关有效
| 申请号： | 201780071571.6 | 申请日： | 2017-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN109983556B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 理查德·L·奈普;罗伯托·彼得勒斯·范·卡普恩;詹姆斯·道格拉斯·霍夫曼;兰斯·巴伦 | 申请（专利权）人： | 卡文迪什动力有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H1/00 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开总体涉及MEMS欧姆开关的设计，该设计提供MEMS器件可移动板在RF触头上的低冲击着陆和用于断开触头的高恢复力，以提高开关的寿命。该开关具有设置在开关器件偏心处的至少一个接触电极，并且还具有设置在开关器件中心附近的二次着陆立柱。与接触电极的RF触头相比，二次着陆立柱在衬底上方延伸到更大的高度，使得可移动板首先接触二次着陆立柱，并然后轻轻地着陆在RF触头上。在释放时，可移动板将在从二次着陆立柱脱离之前从RF触头脱离，并且由于高恢复力而具有更长的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 冲击 着陆 mems rf 开关 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS欧姆开关(300)，包括：衬底(101)，其上设置有一个或更多个锚电极(108)、多个下拉电极(104A‑104C)以及一个或更多个RF电极(302、304)；MEMS桥，其利用锚接触层(208)耦接到所述一个或更多个锚电极(108)；介电层(202)，其设置在一个或更多个下拉电极(104A‑104C)上；中心止挡块(314)，其耦接到介电层(202)并且设置在MEMS桥的大致中心的下方；RF触头(306)，其耦接到所述一个或更多个RF电极(302、304)中的RF电极(302)；和附加的止挡块(310)，其设置在介电层(202)上，其中所述附加的止挡块(310)设置在锚接触层(208)和RF触头(306)之间，并且其中，所述RF触头(306)设置在附加的止挡块(310)和中心止挡块(314)之间。
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