[发明专利]包括用于分配通过其中气体的排放喷嘴板的炉以及操作炉的方法有效
| 申请号： | 201780068303.9 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109906289B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·L·梅尔高德;丹尼尔·M·鲁夫;马修·本森;菲利普·乌;罗伯特·杰拉尔德·格雷厄姆;罗尔夫·道格拉斯·克拉格赛斯 | 申请（专利权）人： | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
| 主分类号： | D01F9/32 | 分类号： | D01F9/32;A21B1/24;F24C15/32 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种炉、用于通过炉分配气体的排放喷嘴板以及操作炉的方法。示例炉包括：加热系统，其用于加热气体；基板加热体积；以及气室，其包括侧壁，所述侧壁具有在其中形成的多个通路，所述气室被配置成将加热的气体从所述多个通路引导到所述基板加热体积中，在所述气室中形成的所述多个通路中的每个通路具有相应的锥形横截面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 用于 分配 通过 其中 气体 排放 喷嘴 以及 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种炉，其包括：加热系统，其用于加热气体；基板加热体积；以及气室，其包括侧壁，所述侧壁具有在其中形成的多个通路，所述气室被配置成将加热的气体从所述多个通路引导到所述基板加热体积中，在所述气室中形成的所述多个通路中每个通路具有相应的锥形横截面形状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于伊利诺斯工具制品有限公司，未经伊利诺斯工具制品有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780068303.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于光电应用的钙钛矿周期性阵列的制备
- 下一篇：纺织增强材料及其制造方法
