[发明专利]电解处理夹具和电解处理方法有效
| 申请号： | 201780056600.1 | 申请日： | 2017-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN109790641B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 星野智久;滨田正人;金子聪;山口恭满 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D5/00;C25D7/12;C25D17/06;C25D21/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在使用供给到被处理基板的处理液而对该被处理基板进行电解处理之际所利用的电解处理夹具具有：平板状的基体；和直接电极，其设置于该基体的表面，用于与处理液接触而在该直接电极与被处理基板之间施加电压，电解处理夹具中的被处理基板侧的表面具有凹凸形状。 | ||
| 搜索关键词： | 电解 处理 夹具 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电解处理夹具，其是使用供给到被处理基板的处理液而对该被处理基板进行电解处理的电解处理夹具，其中，该电解处理夹具具有：平板状的基体；和直接电极，其设置于所述基体的表面，用于与所述处理液接触而在该直接电极与所述被处理基板之间施加电压，所述电解处理夹具的表面具有凹凸形状。
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