[发明专利]用于在同步加速器光源光束线中移动和定位具有纳米级机械稳定性和分辨率的光学元件的仪器

摘要

一种用于在光束线中移动和定位光学元件(3)的仪器，包括安装结构(2)，一个(或多个)光学元件(3)安装在所述安装结构(2)上，还包括参考结构(1)，所述安装结构(2)直接或间接地安装到所述参考结构上，所述安装结构(2)通过具有低机械刚度的移动装置(4)移动，并且相对于所述参考结构(1)的位置通过位置检测装置(6)以高分辨率测量。所述仪器还包括反应质量(5)，用于接收来自所述安装结构(2)的所述移动装置(4)施加的力的反应。结构元件通过具有特定刚性特征的弹性装置(/1和/2)连接，使得前述的位置控制在具有带宽超过100HZ的闭环中作用。所述仪器还用于定位用于同步加速器光源光束线的双晶单色仪。

主权项

1.一种用于在同步加速器光源光束线中移动和定位具有纳米级机械稳定性的光学元件的仪器，包括：‑参考结构(1)；‑安装结构(2)，所述安装结构上安装有光学元件(3)，并且所述安装结构以能够移动的方式附接到所述参考结构(1)，允许其在一个或多个方向上的相对运动或旋转；‑用于使所述安装结构(2)相对于基座(1)移动的移动装置(4)；‑至少一个平衡质量(5)，所述平衡质量也以能够移动的方式附接到所述参考结构(1)，允许在一个或多个旋转方向上的相对运动，所述平衡质量还附接到所述安装结构(2)，并且通过所述移动装置(4)的致动，接收所述安装结构(2)相对于所述参考结构(1)的定位产生的反作用力；‑干涉仪(6)，所述干涉仪测量所述安装框架(2)相对于所述参考结构(1)的位置；‑主反馈回路，所述主反馈回路包括所述干涉仪(6)和所述移动装置(4)，其中利用所述干涉仪(6)的信息来通过所述移动装置(4)控制所述安装结构(2)的位置。