[发明专利]估计光源的增益关系有效
| 申请号： | 201780055440.9 | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109690400B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | T·亚加瓦尔 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/54 | 分类号： | G03B27/54;G02F1/35;G03F7/20;H01S3/13 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 访问光刻系统的光源的输出的指示；访问被提供给光源的输入的指示，所提供的输入与所访问的光源的输出的指示相关联；根据预期输出量和所访问的光源的输出的指示来确定输出误差；估计与所访问的被提供给光源的输入的指示相关联的局部增益；根据所估计的局部增益和预期的局部增益确定增益误差；基于输出误差和增益误差中的一个或多个误差来估计光源的一个或多个操作指标的当前值；并且基于所估计的一个或多个操作指标的当前值来更新用于光源的增益关系。 | ||
| 搜索关键词： | 估计 光源 增益 关系 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：访问光刻系统的光源的输出的指示，所述光源与输入值的范围以及输出值的对应的范围相关联；访问被提供给所述光刻系统的所述光源的输入的指示，所提供的输入与所访问的所述光源的所述输出的所述指示相关联；根据预期输出量和所访问的所述光源的所述输出的所述指示确定输出误差；估计与所访问的被提供给所述光源的所述输入的所述指示相关联的局部增益；根据所估计的局部增益和预期的局部增益确定增益误差；基于所述输出误差和所述增益误差中的一个或多个误差来估计所述光源的一个或多个操作指标的当前值；以及基于所估计的所述一个或多个操作指标的当前值来更新用于所述光源的增益关系，所述增益关系使所述输入值的范围与预期的输出值的对应的范围相关。
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