[发明专利]二氮杂二烯基化合物、薄膜形成用原料、以及薄膜的制造方法有效
申请号: | 201780053070.5 | 申请日: | 2017-07-05 |
公开(公告)号: | CN109715601B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 吉野智晴;远津正挥;西田章浩;山下敦史 | 申请(专利权)人: | 株式会社ADEKA |
主分类号: | C07C251/08 | 分类号: | C07C251/08;C23C16/18;C07F15/04 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 吴宗颐 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及下述通式(I)表示的二氮杂二烯基化合物。在通式(I)中,R |
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搜索关键词: | 二氮杂二烯基 化合物 薄膜 形成 原料 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.下述通式(I)表示的二氮杂二烯基化合物,
式中,R1表示碳数1~6的直链或支链烷基,M表示镍原子或锰原子。
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