[发明专利]器件和用于制造器件的方法有效
申请号: | 201780049337.3 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN109564957B | 公开(公告)日: | 2022-03-22 |
发明(设计)人: | 伊莎贝尔·奥托;科比尼安·佩尔茨尔迈尔 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/62;H01L33/64;H01L27/15 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张春水;丁永凡 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提出一种具有载体(1)和设置在载体上的具有光学有源层(23)的半导体本体(2)的器件(100),其中载体具有金属的载体层(3),所述载体层连贯地构成并且机械地稳定所述器件。此外,载体具有镜层(5),所述镜层设置在半导体本体和载体层之间。载体还具有均衡层(4),所述均衡层直接邻接于载体层并且设计用于补偿器件的内部的机械应力。此外,提出一种方法,所述方法适合于制造多个这种器件。 | ||
搜索关键词: | 器件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有载体(1)和设置在所述载体上的半导体本体(2)的器件(100),其中‑所述半导体本体具有背离所述载体的半导体层(21)、朝向所述载体的另一半导体层(22)和位于其间的光学有源层(23),‑所述载体具有金属的载体层(3),所述载体层连贯地构成并且机械地稳定所述器件,‑所述载体具有镜层(5),所述镜层设置在所述半导体本体和所述载体层之间,并且‑所述载体具有均衡层(4),所述均衡层直接邻接于所述载体层并且设计用于补偿所述器件的内部的机械应力。
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