[发明专利]利用静电卡盘和范德华力涂覆玻璃基材的设备和方法在审
| 申请号： | 201780049022.9 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN109562985A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | D·R·鲍顿;J·G·法根;S·L·法根 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00;C03C23/00;C03C27/06;C23C14/50;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张璐;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于利用真空沉积工艺涂覆玻璃基材的夹持设备和方法。在一个或多个实施方式中，所述夹持设备包括静电卡盘(ESC)、设置在ESC上的载体，其中，所述载体包括毗邻ESC的第一表面和相对的第二表面，所述第二表面用于与玻璃基材的第三表面形成范德华粘结，而无需在与第三表面相对的玻璃基材的第四表面上施加机械力。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：将载体和玻璃基材设置在ESC上，以使载体在玻璃基材和ESC之间，从而形成夹持组件；在载体与玻璃基材之间形成范德华粘结；以及将涂层真空沉积在玻璃基材上。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基材 第二表面 夹持设备 静电卡盘 涂覆玻璃 基材 粘结 真空沉积工艺 施加机械力 表面相对 表面形成 第一表面 范德华力 夹持组件 真空沉积 毗邻 | ||
【主权项】：
1.一种夹持设备，其用于利用真空沉积工艺涂覆玻璃基材，所述设备包括：静电卡盘(ESC)；设置在静电卡盘上的载体，其中，所述载体包括毗邻静电卡盘的第一表面和相对的第二表面，所述第二表面用于与玻璃基材的第三表面形成范德华粘结，而无需在与第三表面相对的玻璃基材的第四表面上施加机械力。
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