[发明专利]3D表面测量的系统与方法有效
| 申请号： | 201780047289.4 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109642787B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 孟令飞;江俊 | 申请（专利权）人： | 穆拉有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25;G06T1/00;G06T7/60;H04N5/225 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 某些实施例涉及3D表面测量系统和方法，其配置为将一个或多个光束中的工程照明光线引导入射到样品表面的N个照明方向。该系统和方法可使用在工程照明被引导到样品表面时捕获的强度图像来测量表面法线图，深度图和表面特性图。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种3D表面测量系统包括：一工程照明系统，其配置为提供至少一个光束入射到待成像样品表面的N个照明方向，其中每个光束包含不同强度的照明光线；第一相机，具有成像镜头和至少一个传感器，被配置为基于接收自被照亮样品的光在N个照明方向捕获强度图像；以及一配置为执行指令的控制器来：从N个照明方向的强度图像确定每个传感器像素的传感器响应；以及将每个传感器像素处的传感器响应与多个预先确定的传感器响应中的一个匹配，以在每个传感器像素处确定表面法线；以及通过合并至少一个传感器的所有传感器像素的确定的表面法线来构造表面的表面法线图。
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