[发明专利]引导传输路径校正有效
申请号: | 201780042517.9 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN109451764B | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | E.弗伦斯基;K.马蒂亚;A.S-K.柯 | 申请(专利权)人: | 科迪华公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;H01L23/02;H01L23/28;H01L51/56 |
代理公司: | 北京坦路来专利代理有限公司 11652 | 代理人: | 索翌 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 打印机将材料沉积到衬底上,作为电子产品的制造过程的部分;至少一个所传输部件经历了影响沉积的误差。使用均衡部件的位置的换能器来减轻该误差,例如,以提供“理想的”传送路径,从而准许精确的液滴放置,尽管存在误差。在一个实施例中,使用光导(例如,使用激光)来限定所期望的路径;安装到部件的传感器动态检测与该路径的偏离,其中然后使用该偏离来驱动换能器以立即抵消偏离。该误差校正方案可以被应用于校正多种类型的传输误差,例如,被应用于校正衬底传输路径、打印头传输路径和/或分轴传输非正交性中的误差。 | ||
搜索关键词: | 引导 传输 路径 校正 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造电子产品的层的装置,其包括:打印头,其用于将材料沉积到衬底上,所述材料用于形成层;传送系统,其用于在材料的沉积期间传输衬底和打印头中的至少一个;传送系统的部件,其沿着传输路径被推进;光学系统,其包括平行于传输路径定向的光束和用于检测光束的检测器,光学系统被配置使得由检测器来检测部件在独立于光束的方向的至少一个维度上的偏离;以及至少一个换能器,其被驱动以便根据所述偏离在正交于传输路径的方向上位移所述部件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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