[发明专利]弹性波装置有效
| 申请号： | 201780038832.4 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN109417371B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 绀野彰 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘慧群 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够减小由瑞利波等弹性波的高阶模造成的杂散的弹性波装置。弹性波装置(1)在作为元件基板的压电基板(2)上设置有IDT电极(3)以及绝缘膜(6)。在IDT电极(3)的交叉区域上，在将弹性波传播方向一端设为第一端部(3a)并将另一端设为第二端部(3b)的情况下，随着从第一端部(3a)以及第二端部(3b)朝向弹性波传播方向中央，绝缘膜(6)的厚度变薄或变厚。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，具备：元件基板，具有压电体层；IDT电极，设置在所述压电体层上；以及绝缘膜，覆盖所述IDT电极，所述IDT电极具有作为激励弹性波的区域的交叉区域，在将所述交叉区域的弹性波传播方向上的一端设为第一端部并将另一端设为第二端部的情况下，在所述IDT电极的交叉区域上，随着从所述IDT电极的所述第一端部以及所述第二端部朝向弹性波传播方向中央，所述绝缘膜的厚度变薄或变厚。
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