[发明专利]用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法

摘要

本发明涉及用于测量物体（12）的光学有效面（18）的形貌和/或梯度和/或曲率的方法和设备（10）。该设备（10）能够实现以能够贴靠在该物体（12）上的接触部（17）将该物体（12）安排在接收范围（14）内。在该设备（10）中具有提供光的多个点光源（20），该光被反射到安排在该接收范围（14）内的物体的待测量的面（18）上。该设备（10）具有至少一个相机（34），该相机具有物镜组件（40）和图像传感器（46）用于采集亮度分布，该亮度分布在图像传感器（46）上由点光源（20）的反射到该待测量的面（18）上的光引起。

主权项

1.一种方法，用于测量物体（12）的光学有效面（18）的形貌和/或梯度和/或曲率，该方法包括以下步骤：i. 采集由光斑（57）组合成的亮度分布（79），该亮度分布由一个或多个光点（20）的反射到该物体（12）的待测量的面（18）上的光引起；ii. 将该亮度分布与引起该亮度分布的这些光点（20）对应；iii. 确定由这些光点（20）发出的光在该物体（12）上的反射位置；iv. 计算由这些光点（20）发出的光的反射位置上的表面法线；并且v. 通过表面法线的积分计算该物体（12）的形貌；vi. 迭代地重复第iii步至第v步直至达到收敛标准；并且vii. 算出该物体（12）的待测量的面（18）上的至少一个点（50）在对设备而言固定的坐标系（78）中的位置和/或地点。