[发明专利]基板收纳容器有效
申请号: | 201780034631.7 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN109314072B | 公开(公告)日: | 2023-02-10 |
发明(设计)人: | 三村博;户田顺也 | 申请(专利权)人: | 信越聚合物股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/86 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;苏琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种提高搬送部件的安装性的基板收纳容器。本发明的基板收纳容器具备:容器主体(20),其具有由盖体封闭的开口部,并且可以收纳两块以上的基板;以及搬送部件(30),其拆装自如地安装于容器主体(20)上;安装机构(40)包括第一安装部(40A)以及第二安装部(40B),所述第一安装部(40A)在容器主体(20)的开口部侧,所述第二安装部(40B)在远离开口部的侧。此外,搬送部件(30)具有与安装机构(40)卡合的被卡合部,且被卡合部包括:朝向预定的方向位移从而卡合的第一被卡合部(36),以及朝向与预定的方向不同的方向位移从而卡合的第二被卡合部(37)。 | ||
搜索关键词: | 收纳 容器 | ||
【主权项】:
1.一种基板收纳容器,其特征在于具备:容器主体,其具有由盖体封闭的开口部,并且可以收纳两枚以上的基板;以及搬送部件,其拆装自如地安装于设置在所述容器主体的安装机构上;其中,所述安装机构包括第一安装部以及第二安装部,所述第一安装部在所述容器主体的所述开口部侧,所述第二安装部在远离所述开口部的侧。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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