[发明专利]形成力传感器的方法、力传感器阵列和力传感器设备有效
申请号: | 201780034300.3 | 申请日: | 2017-05-24 |
公开(公告)号: | CN109313090B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | S·马;J·D·霍尔贝利;A·丘里科夫;F·P·里贝罗 | 申请(专利权)人: | 微软技术许可有限责任公司 |
主分类号: | G01L1/18 | 分类号: | G01L1/18;G01L1/20;G06F3/041 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈斌;胡利鸣 |
地址: | 美国华*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了力感测元件的各示例。用于形成力传感器的示例方法包括将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中,蒸发该液体载体,以及封装该电极对和中空球导电聚合物以形成力传感器。 | ||
搜索关键词: | 形成 传感器 方法 阵列 设备 | ||
【主权项】:
1.一种方法,包括:将中空球导电聚合物的悬浮液印刷在基板上的电极对上的液体载体中;蒸发所述液体载体;以及封装所述电极对和中空球导电聚合物以形成力传感器。
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