[发明专利]等离子体处理检测用组合物及等离子体处理检测用指示器有效
| 申请号： | 201780028056.X | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN109154589B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 作村武志 | 申请（专利权）人： | 株式会社樱花彩色笔 |
| 主分类号： | G01N31/22 | 分类号： | G01N31/22;C09D11/037;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国大阪府大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 技术问题：提供一种灵敏度高的等离子体处理检测用组合物及等离子体处理检测用指示器。技术手段：等离子体处理检测用组合物含有第1色素及变色促进剂，该第1色素选自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫吨组成的组中的1种以上，该变色促进剂用于促进该第1色素在等离子体处理气氛下变色；所述等离子体处理检测用组合物的特征为，所述变色促进剂含有1种以上的、由包含2个苯环以单键或连接基连接的化学结构的化学结构式所表示的化合物，所述连接基通过串联连接的2个或3个单键连接2个苯环。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 检测 组合 指示器 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理检测用组合物，其含有第1色素及变色促进剂，所述第1色素为选自偶氮、蒽醌、次甲基、及呫吨所组成的组的1种以上，所述变色促进剂用于促进该第1色素在等离子体处理气氛下的变色；所述等离子体处理检测用组合物的特征在于，所述变色促进剂含有1种以上的、由包含2个苯环以单键或连接基连接的化学结构的化学结构式表示的化合物，所述连接基通过串联连接的2个或3个单键连接2个苯环。
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