[发明专利]制造互连太阳能电池的方法及这种互连太阳能电池有效
| 申请号: | 201780026431.7 | 申请日: | 2017-04-26 |
| 公开(公告)号: | CN109643740B | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
| 发明(设计)人: | 约翰·博斯曼;安妮·费伦茨·卡雷尔·维克托·比泽曼;薇洛妮克·斯蒂芬妮·盖瓦尔特;尼古拉·德伯纳迪 | 申请(专利权)人: | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
| 主分类号: | H01L31/0749 | 分类号: | H01L31/0749;H01L31/0463 |
| 代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
| 地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及制造互连太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤:a)在基底上设置连续的层堆叠部(100)。层堆叠部具有顶部电极层(130)、与基底相邻的底部电极层(140)、光伏有源层(150)和与底部电极层相邻的阻挡层(160),阻挡层介于顶部电极层与底部电极层之间。b)使用具有第一波长的第一激光束(270),选择性地去除顶部电极层和光伏层,以获得曝光阻挡层的第一沟槽(210);c)使用具有第二波长的第二激光束(272),选择性地去除第一沟槽内阻挡层和底部电极层,以获得暴露基底的第二沟槽(312),d)用电绝缘构件(480)填充第一沟槽和第二沟槽。第一激光束的第一波长比与光伏层的带隙能量相对应的波长大。 | ||
| 搜索关键词: | 制造 互连 太阳能电池 方法 这种 | ||
【主权项】:
1.一种制造互连太阳能电池的方法,包括以下步骤:a)在基底(120)上设置连续的层堆叠部(100),所述层堆叠部包括顶部电极层(130)、与所述基底相邻的底部电极层(140),具有光伏有源层(150)和介于所述顶部电极层与所述底部电极层之间的、与所述底部电极层相邻的阻挡层(160);b)使用具有第一波长的第一激光束(270),选择性地去除所述顶部电极层和所述光伏层,以获得曝光所述阻挡层的第一沟槽(210);c)使用具有第二波长的第二激光束(272),选择性地去除所述第一沟槽内的所述阻挡层和所述底部电极层,以获得暴露所述基底的第二沟槽(312),其中,所述第二沟槽和所述第一沟槽提供所述连续的层堆叠部的分离,从而形成第一太阳能电池(302)和第二太阳能电池(304),以及所述第二沟槽在第一沟槽内,从而留下所述第一沟槽内的所述第二太阳能电池的阻挡层(160b)的部分(314)以及所述第一沟槽内的所述第二太阳能电池的底部电极层(140b)的部分(315);d)用电绝缘构件(480)填充所述第一沟槽和所述第二沟槽;所述第一波长比与所述光伏层的带隙能量相对应的波长大。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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