[发明专利]蒸发装置及方法有效
| 申请号： | 201780025553.4 | 申请日： | 2017-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN109069941B | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | J·阿斯普伦德;O·埃里克森;A·法里斯 | 申请（专利权）人： | 百特基公司 |
| 主分类号： | B01D1/00 | 分类号： | B01D1/00;B01D1/14;B01D3/34;B01D3/42;G01N1/40 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 关丽丽;郑建晖 |
| 地址： | 瑞典乌*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸发装置(100)，包括：设置有至少一个喷嘴(102)的歧管；用于液体的箱单元(103)；和，样品保持器，被配置为插入箱单元中。样品保持器被配置为将至少一个样品相对于至少一个喷嘴保持在限定的位置中；控制单元(104)；入口端口(105)，被配置为连接到气体供应部；压力调节器(106)，被布置在入口端口(105)下游。压力调节器(106)的设定值由控制单元(104)控制，控制阀(107)被布置在压力调节器(106)下游，其中至少一个歧管(101a‑d)中的每一个被连接到控制阀的对应输出端口。控制阀由控制单元(104)控制，且控制单元被配置为将压力调节器的设定值设定为导致至少一个喷嘴中的每一喷嘴的预定气体流量的值。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发装置(100)，包括：具有至少一个喷嘴(102)的至少一个歧管(101a‑d)；一个用于液体的箱单元(103)，一个样品保持器，所述样品保持器被配置为插入所述箱单元中，其中所述样品保持器被配置为将至少一个样品相对于至少一个喷嘴保持在限定的位置中；一个控制单元(104)；一个入口端口(105)，所述入口端口被配置为连接到气体供应部；一个压力调节器(106)，所述压力调节器被布置在所述入口端口(105)下游，其中所述压力调节器(106)的设定值由所述控制单元(104)控制；一个控制阀(107)，所述控制阀被布置在所述压力调节器(106)下游，其中所述至少一个歧管(101a‑d)中的每一歧管连接到所述控制阀的对应输出端口，所述控制阀由所述控制单元(104)控制；并且所述控制单元被配置为将所述压力调节器的设定值设定为导致所述至少一个喷嘴中的每一喷嘴的预定气体流量的值。
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