[发明专利]图案形成方法、加工基板的生产方法、光学部件的生产方法、电路板的生产方法、电子部件的生产方法和压印模具的生产方法

摘要

一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm²的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。

主权项

1.一种图案形成方法，其特征在于，其依次包括：第一层叠步骤(1)：将由至少包含用作聚合性化合物的组分(a1)的固化性组合物(A1)形成的层层叠在基板的表面上；第二层叠步骤(2)：将至少包含用作聚合性化合物的组分(a2)和用作光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(A2)的液滴离散地滴落在由所述固化性组合物(A1)形成的层上；模具接触步骤(3)：将由所述固化性组合物(A1)和所述固化性组合物(A2)部分地混合形成的混合层夹持在具有图案的模具和所述基板之间；光照射步骤(4)：从模具侧用光照射所述混合层以使所述混合层固化；和脱模步骤(5)：将所述模具与固化后的所述混合层脱离，其中，所述固化性组合物(A1)也层叠在所述模具和所述混合层彼此接触的区域的周围，所述固化性组合物(A1)的用作光聚合引发剂的组分(b1)的含量相对于100重量份所述用作聚合性化合物的组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份，在照度为1.00mW/cm2且曝光时间为100.0秒的条件下曝光时，所述用作聚合性化合物的组分(a1)的聚合转化率为50％以下。