[发明专利]气密封装体的制造方法及气密封装体在审
申请号: | 201780020574.7 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN108886026A | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 白神彻;冈卓司 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L33/48 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的气密封装体的制造方法的特征在于,具备以下工序:准备氮化铝基体并在氮化铝基体上形成烧结玻璃含有层的工序、准备玻璃盖并在玻璃盖上形成密封材料层的工序、以烧结玻璃含有层与密封材料层接触的方式配置氮化铝基体和玻璃盖的工序、以及从玻璃盖侧向密封材料层照射激光,使密封材料层软化变形,由此将烧结玻璃含有层与密封材料层气密密封,获得气密封装体的工序。 | ||
搜索关键词: | 密封材料层 气密封装 玻璃盖 氮化铝基体 烧结玻璃 侧向密封 方式配置 气密密封 材料层 软化 制造 照射 变形 激光 | ||
【主权项】:
1.一种气密封装体的制造方法,其特征在于,具备以下工序:准备氮化铝基体并在氮化铝基体上形成烧结玻璃含有层的工序、准备玻璃盖并在玻璃盖上形成密封材料层的工序、以烧结玻璃含有层与密封材料层接触的方式配置氮化铝基体和玻璃盖的工序、以及从玻璃盖侧向密封材料层照射激光,使密封材料层软化变形,由此将烧结玻璃含有层与密封材料层气密密封,获得气密封装体的工序。
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