[发明专利]图案化方法及图案化装置有效
| 申请号： | 201780020398.7 | 申请日： | 2017-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108883573B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 渡部功治 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社 |
| 主分类号： | B29C64/135 | 分类号： | B29C64/135;B29C64/20;B33Y10/00;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种图案化方法，其不需要将光固化图案(固化物)从脱模层剥离，能够简便且在短时间内形成光固化图案。图案化方法具备以下工序：i)对具备具有光照射面的底部的造型用托盘供给具有比重d |
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| 搜索关键词： | 图案 方法 化装 | ||
【主权项】：
1.一种图案化方法，其是对光固化性的图案化材料进行光照射而形成图案的图案化方法，其具备下述工序：i)对具备具有光照射面的底部的造型用托盘供给具有第1比重d1的液状的脱模材料、及具有比所述第1比重d1小的第2比重d2且与所述脱模材料呈相分离的液状的所述图案化材料，设置与所述底部接触的所述脱模材料的第1液层，同时在所述第1液层上形成与所述第1液层接触的所述图案化材料的第2液层，在所述第2液层的与所述第1液层的界面附近形成所述图案化材料的液膜的工序；和ii)隔着所述第1液层对所述液膜照射光，使所述液膜光固化而形成图案的工序。
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